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凈化車間的溫濕度應(yīng)如何控制?

更新時間:2022-12-05

  凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)生產(chǎn)加工技術(shù)性工藝技術(shù)規(guī)定來明確,在達到公司生產(chǎn)加工生產(chǎn)制造加工工藝的標準下,優(yōu)選大家應(yīng)當(dāng)考慮到人的舒適度。

  伴隨著在我國空氣潔凈度等級規(guī)定的提升,加工工藝對溫濕度的規(guī)定也愈來愈多越高,務(wù)必可以做到自身一定的溫濕度開展級別。比如在我國規(guī)模性數(shù)據(jù)集成系統(tǒng)軟件電源電路及其生產(chǎn)制造的光刻技術(shù)曝出加工工藝中,做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定學(xué)員愈來愈小。直徑100 um的單晶硅片,溫度持續(xù)升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此老師務(wù)必有0.1度的控溫,另外發(fā)展趨勢規(guī)定工作中濕度值一般水準較低,由于汗之后,對商品銷售市場將有環(huán)境污染,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體材料車間,這類根據(jù)車間不適合應(yīng)用超出25度。濕度過高非常容易造成的難題給予大量。相對性濕度超出55%時,冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水,假如產(chǎn)生在一個高精密操縱設(shè)備或電源電路中,便會造成造成社會發(fā)展各種各樣安全生產(chǎn)事故。相對性濕度在的時候容易銹蝕。殊不知,針對大部分清理室內(nèi)空間而言,為了更好地避免外界環(huán)境污染的侵入,必須維持內(nèi)部工作壓力(負壓)高過外界工作壓力(負壓)。清理室內(nèi)空間的工作壓力高過非清理室內(nèi)空間的工作壓力。壓差由新鮮空氣量維持,這填補了在這類壓差下空氣根據(jù)空隙的泄露。因此壓力差的物理意義便是空氣漏水(或滲入)時根據(jù)潔凈室的每個空隙時的摩擦阻力。

  針對流場潔凈室,因為空氣稀釋液關(guān)鍵用以降低室內(nèi)空氣污染,因此關(guān)鍵選用換風(fēng)的定義,但速度的定義并不立即應(yīng)用,但對流傳熱速度也是有下列規(guī)定;1.正壓送風(fēng)口出入口的氣旋速度不適合過大。與獨立的中央空調(diào)屋子對比,規(guī)定速度衰減系數(shù)更快,蔓延角更高。2.空氣穿過平面的速度(如側(cè)送時的流回速度)不適合過高,以防將表層顆粒物吹返回空氣流中,導(dǎo)致二次污染。該速度一般不應(yīng)是0.兩米/s。在我國《空氣潔凈度等級技術(shù)措施》和《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》均要求豎直平行面流(層.流)潔凈室為0.25米/秒,水準平行面流(層.流)潔凈室為0.35米/秒。


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